มาตรฐานการทำความสะอาดสำหรับการประชุมการผลิตชิปในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

1. ทำความสะอาดมาตรฐานเกรดห้อง

เกรดของห้องทำความสะอาดมักจะแบ่งตามจำนวน และขนาดของอนุภาค ที่อนุญาตให้อยู่ในอากาศ ISO 14644 มักจะใช้ระดับสากลสำหรับการจัดประเภทเกรด ตามมาตรฐานนี้ คะแนนของห้องทำความสะอาดจากสูงถึงต่ำ: ISO 1-9

ควรสังเกตว่า มาตรฐานการทำความสะอาดอาจแตกต่างกันไปตามอุตสาหกรรม และแอปพลิเคชันเฉพาะ ในการผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์ความต้องการมาตรฐานสำหรับการทำความสะอาดมักจะเข้มงวดมากขึ้นเพื่อให้แน่ใจว่า คุณภาพ และประสิทธิภาพของชิป ที่ผลิตเป็นไปตามความคาดหวัง

เกรดห้องทำความสะอาดสามารถแบ่งออกเป็น: เกรด 1 h ; เกรด 10 วี ระดับ 100 ปี เกรด 1000 เอชไอวี เกรด 10000 ต่อปี เกรด 300000

ห้องทำความสะอาดเกรด 1 ส่วนใหญ่จะใช้ในอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์สำหรับอุตสาหกรรมวงจรรวมการผลิต และข้อกำหนดความแม่นยำสำหรับวงจรแบบรวมเป็น submicron

เกรด 10 ห้องทำความสะอาดส่วนใหญ่จะใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ที่มีแบนด์วิดท์ ที่น้อยกว่า 2 ไมครอน

ความสะอาดระดับ 100 มีประโยชน์อย่างกว้างขวาง และสามารถตอบสนองความต้องการความสะอาดของอุตสาหกรรมส่วนใหญ่ มันสามารถใช้สำหรับดูดน้ำเสียเทคโนโลยีการผลิตในอุตสาหกรรมยา ห้องทำความสะอาดนี้ สามารถใช้ในการผ่าตัดสำหรับการปลูกถ่าย และการรวมการรักษา เช่น เดียวกับการแยกตัวของผู้ป่วย ที่มีความไวต่อการติดเชื้อแบคทีเรียเป็นพิเศษ

ห้อง ที่สะอาดห้องส่วนใหญ่จะใช้ในการผลิตผลิตภัณฑ์แสง ที่ดี และยังใช้ในการทดสอบ และประกอบกล้องตรวจวัดอากาศยานประกอบด้วยไมโครแบรตฯ ลฯ

ห้อง ที่สะอาด 10,000 ห้องสามารถใช้สำหรับการประกอบอุปกรณ์ไฮดรอลิก หรืออุปกรณ์นิวเคลียร์ และในบางกรณียังใช้ในอุตสาหกรรมอาหาร และเครื่องดื่ม นอกจากนี้ ห้องทำความสะอาดชั้น 10,000 ยังถูกใช้อย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมทางการแพทย์

2. พิจารณาเรื่องความปลอดภัย

การตก แต่งของเซมิคอนดักเตอร์ทำความสะอาดห้องต้องตอบสนองความต้องการด้านความปลอดภัย โดยทั่วไปการพูดมีจำนวนมากของสารไวไฟ และระเบิดในห้องทำความสะอาดเซมิคอนดักเตอร์ดังนั้น กฎระเบียบความปลอดภัยของชาติ ที่เกี่ยวข้อง เช่น การป้องกันไฟ และการป้องกันการระเบิดควรจะสังเกตในระหว่า งการตก แต่ง นอกจากนี้ มลพิษทางสิ่งแวดล้อม และสุขภาพ และความปลอดภัยของพนักงานควรได้รับการพิจารณาเพื่อให้แน่ใจว่า วัสดุการตก แต่งเป็นไปตามมาตรฐานของชาติ และจะไม่ก่อให้เกิด อันตรายต่อสุขภาพของมนุษย์

3. ทำความสะอาดระบบการรักษาอากาศห้อง

ทำความสะอาดห้องเซมิคอนดักเตอร์ต้องใช้ระบบการรักษาอากาศเพื่อให้แน่ใจว่า อากาศสะอาด ระบบการรักษาอากาศส่วนใหญ่ประกอบด้วยตัวกรองอากาศระบบจ่ายอากาศระบบกลับคืน และระบบไอเสีย ในหมู่พวกเขาตัวกรองอากาศเป็นองค์ประกอบ ที่สำคัญ ที่สามารถกำจัดอนุภาค และจุลินทรีย์ในอากาศได้อย่างมีประสิทธิภาพ

4. พื้นผนัง และเพดานตก แต่ง

ในการตก แต่งของห้องทำความสะอาดเซมิคอนดักเตอร์การตก แต่งของพื้นผนัง และเพดานเป็นสิ่งสำคัญมากเพราะพื้น ที่เหล่านี้ มีความไวต่อมลพิษ พื้นควรจะทำจากสวมใส่ทนต่อการคง ที่ และทำความสะอาดง่ายวัสดุ เช่น Epoxy ปรับระดับพื้น หรือพื้นพลาสติก PVC ; ผนัง และเพดานควรทำจากการกัดกร่อนทนต่อการคง ที่ และวัสดุ ที่ทำความสะอาดง่าย เช่น อลูมิเนียม แซนด์วิช แผงแผงสแตนเลสแผงม่านผ้าม่านฯ ลฯ

5. เลย์เอาต์ของอุปกรณ์ไฟฟ้า เช่น โคมไฟ และซ็อกเก็ต

ในการตก แต่งของห้องทำความสะอาดเซมิคอนดักเตอร์รูปแบบของโคมไฟ และซ็อกเก็ตยังเป็นสิ่งสำคัญมาก เพื่อป้องกันไม่ให้เกิดมลพิษ เช่น ฝุ่น และจุลินทรีย์จากการเข้าสู่ห้องปฏิบัติการอุปกรณ์เหล่านี้ ควรติดตั้งบนเพดาน หรือเหนือความสูงของผนังวัสดุป้องกันไฟฟ้าสถิต และไม่มีแป้ง ที่ควรเลือก

6. ประตูหน้าต่างโต๊ะทำงานสะอาด และสิ่งอำนวยความสะดวกอื่น ๆ

ในการตก แต่งห้องทำความสะอาดเซมิคอนดักเตอร์ล้างประตูห้องฉันไม่รู้ทำความสะอาดหน้าต่างห้องการทำงาน ที่สะอาด และสิ่งอำนวยความสะดวกอื่น ๆ ยังต้องพิจารณาเป็นพิเศษ ประตู และหน้าต่างจะต้องทำจากวัสดุ ที่มีประสิทธิภาพการปิดผนึก ที่ดี และทำความสะอาดง่าย เช่น ประตูสแตนเลส และหน้าต่าง; ม้านั่งทำงาน ที่สะอาดควรทำจากวัสดุ ที่ไม่ลดผงละลายอนุภาคตะกอนความทนทานต่อการกัดกร่อน และทำความสะอาดง่าย เช่น ม้านั่งสแตนเลส