การออกแบบห้องทำความสะอาด: อนุภาคเอเอ็มซี และเอสดีควบคุมสำหรับสิ่งอำนวยความสะดวก ที่ปรับขนาด

การออกแบบห้องเซมิคอนดักเตอร์จะต้องปกป้องกระบวนการ ที่ละเอียดอ่อนมากขึ้นจากอนุภาคการปนเปื้อนในอากาศการปล่อยไฟฟ้าสถิตการสั่นสะเทือน และอุณหภูมิ ที่ไม่เสถียร หรือความชื้น ความท้าทายไม่เพียง แต่บรรลุการทดสอบการจำแนกเท่านั้น มันจะรักษาเงื่อนไข ที่เฉพาะเจาะจงเกี่ยวกับเครื่องมือในขณะ ที่โรงงานทำงาน และการเปลี่ยนแปลง

ดังนั้น จึงรวมการแบ่งเขตโซนความเสี่ยงการไหลของอากาศ ที่มีความยืดหยุ่นวัสดุหุ้ม ที่ใช้งานร่วมกันการเคลื่อนไหววัสดุ ที่มีวินัย และการเข้าถึงบริการ ที่ไม่ได้ขัดขวางการผลิตซ้ำ ๆ

แปลงความไวของโพรเซสเป็นโซน

เริ่มจากลำดับขั้นตอน และระบุสารปนเปื้อน ที่คุกคามใน แต่ละขั้นตอน การถ่ายภาพการปลดปล่อยการทำความสะอาดการประกอบ และการสนับสนุนไม่จำเป็นต้องมีการควบคุม ที่เหมือนกันเสมอไป การจำแนกประเภทเดียวทั่วทั้งสถาน ที่อาจเสียพลังงานในขณะ ที่ไม่สามารถจัดการกับโมเลกุลในท้องถิ่น หรือความเสี่ยงไฟฟ้าสถิต

สร้างเมทริกซ์ควบคุมสิ่งปนเปื้อนสำหรับ แต่ละโซนครอบคลุมขนาดอนุภาค ที่สำคัญความกังวลของเอเอ็มซีเสถียรอุณหภูมิความชื้นความชื้นความสัมพันธ์แรงดันไอเสีย และการบำรุงรักษา เมทริกซ์นี้ กลายเป็นพื้นฐานสำหรับการครอบคลุมเพดานกลยุทธ์อากาศกลับมาวัสดุพื้นผิว และการตรวจสอบ

ซิท#39 เอสโซลูชันห้องอิเล็กทรอนิกส์ และเซมิคอนดักเตอร์ทำความสะอาดห้องให้จุดเริ่มต้น ที่เกี่ยวข้องสำหรับทีมประสานงานสภาพแวดล้อม ที่ควบคุมด้วยความต้องการในการผลิต ที่เพิ่มประสิทธิภาพ

ออกแบบอากาศไหลไปรอบ ๆ เครื่องมือ และความร้อน

อากาศ ที่สะอาดจะต้องเข้าถึงกระบวนการ ที่ละเอียดอ่อนโดยไม่ถูกปิดกั้นด้วยเครื่องมือบริการเหนือศีรษะ หรือผู้ปฏิบัติงาน ความร้อนสูงสามารถสร้าง plumes แนวตั้ง ที่รบกวนการไหลของอากาศ ที่ตั้งใจ อุปกรณ์ขนาดใหญ่สามารถสร้างโซน ที่มีลักษณะ และผลตอบแทน ที่ไม่ดีสามารถจ่ายการกรองวงจรไฟฟ้าลัดวงจร

·ขนาดเครื่องมือแผน ที่การเชื่อมต่อไอเสียการปล่อยความร้อน และการบำรุงรักษาซองจดหมาย

พิกัด FFU ตำแหน่ง ที่มีพื้น ที่สำคัญประมวลผลแทน ที่จะใช้รูปแบบเครื่องแบบสายตาเท่านั้น

·ใช้ผลตอบแทนต่ำ หรือกลยุทธ์พื้น raised ที่พวกเขาสนับสนุนเส้นทางกวาด ที่ต้องการ

·ประเมินการไหลของอากาศหลังจากการเปลี่ยนแปลงเลย์เอาต์เครื่องมือไม่เพียง แต่ ที่การว่า งงานเริ่มต้น

·พิจารณา CFD สำหรับพื้น ที่ ที่อัดแน่นหนา หรือพื้น ที่ท้องถิ่น ที่มีความละเอียดอ่อนสูง

การควบคุมแบบแยกส่วนของ แต่ละหน่วยสามารถช่วยปรับสมดุลของการไหลของอากาศเมื่อเครื่องมือย้าย บูรณาการทำความสะอาดห้องระบบเพดานนอกจากนี้ พิกัด ที่ทำงานหน่วยการติดตั้งว่า งเปล่าไฟ และการเข้าถึงบริการภายในตาราง ที่ซ้ำกันได้

ควบคุมเอเอ็มซีรวมทั้งอนุภาค

HEPA และ ULPA ควบคุมอนุภาคการกรอง แต่ไม่ได้กำจัดสารปนเปื้อนก๊าซทุกขั้นตอน กรดเบสสารควบแน่นโดกางเกง และสารปนเปื้อนโมเลกุลอื่น ๆ อาจต้องการการควบคุมแหล่ง ที่มาการกรองสารเคมีข้อ จำกัด ด้านวัสดุ และการตรวจสอบเฉพาะ

ตรวจสอบ sealants เคลือบฉนวนผลิตภัณฑ์ทำความสะอาด และเฟอร์นิเจอร์สำหรับความเสี่ยงนอก กระบวนการแยกต่างหาก ที่สร้างสารปนเปื้อน ที่ไม่สามารถใช้งานร่วมกันได้ และจัดการคุณภาพของอากาศภายนอก และหมุนเวียนใหม่ ระดับ ที่ยอมรับควรเชื่อมโยงกับความไวของกระบวนการ และวิธีการวัดมากกว่า การอ้างสิทธิ์ห้องสะอาดทั่วไป

รวมความชื้น และการเลือกพื้นผิว

การควบคุมไฟฟ้าสถิตขึ้นอยู่กับมากกว่า พื้น สายดินพื้นผิวไฟฟ้า หรือกระจายเสื้อผ้าเครื่องมือความชื้น และการปฏิบัติงานรูปแบบหนึ่งโปรแกรม ความชื้นจะต้องสมดุลประสิทธิภาพต่อความต้องการของกระบวนการความเสี่ยงการกัดกร่อน และการควบคุมการควบคุมการควบคุมความชื้น

ผิวผนัง และเพดานควรจะเรียบไม่ลื่น และเข้ากันได้กับตัวแทนทําความสะอาด ข้อต่อ และกรอบของพวกเขาไม่ควรสร้างกับดักอนุภาค ที่อุปกรณ์เปลี่ยนแปลงบ่อยครั้งระบบแผงควบคุมผนังแบบถอดได้สามารถให้การเข้าถึง ที่ควบคุมสำหรับการเคลื่อนไหวเครื่องมือในขณะ ที่รักษาแนวคิดการปิดล้อมแบบแยกส่วน

วางแผนวัสดุ และการเคลื่อนไหวบุคลากร

วัสดุ ที่เข้ามาสามารถบรรจุอนุภาคเส้นใย และซากบรรจุภัณฑ์ กำหนดการเอาออกมาถอดออกเช็ด และถ่ายโอนขั้นตอนก่อน ที่วัสดุจะไปถึงโซน ที่สะอาดกว่า เส้นทางบุคลากรควรลดการข้ามด้วยวัสดุ และการไหลของเสีย และ goheads ควรจะตรงกับความเสี่ยงเขต ที่แท้จริง

ล็อคอากาศ และกล่องผ่านมีประโยชน์เฉพาะเมื่อลำดับการดำเนินงานของพวกเขาเป็นจริง หากเวลาการถ่ายโอนไม่สมจริงผู้ปฏิบัติงานอาจข้ามขั้นตอน สังเกตปริมาณการผลิต และขนาดของพื้น ที่การถ่ายโอนสำหรับความต้องการสูงสุดรถเข็น และภาชนะบรรจุ

สร้างเพื่อการเปลี่ยนแปลงเครื่องมือโดยไม่สูญเสียการควบคุม

สิ่งอำนวยความสะดวกเซมิคอนดักเตอร์พัฒนาขึ้นอย่างรวดเร็ว มอดูลเพดานสำรองความสามารถไฟฟ้าสาธารณูปโภค และ ที่อยู่ควบคุมสำหรับการขยายตัว ใช้แผงยกเลิก และโมดูลตารางกริดเพื่อให้การเปลี่ยนแปลงในท้องถิ่นสามารถทำได้ด้วยการรื้อถอน ที่ จำกัด การไล่ล่า และการเข้าถึงบริการควรช่วยให้การบำรุงรักษาจากพื้น ที่ ที่ไม่สะอาด ที่เป็นไปได้

การควบคุมการเปลี่ยนต้องประเมินการไหลของอากาศความดันโหลดความร้อนการสั่นสะเทือนไอเสียสารเคมี และการตรวจสอบหลังจากเครื่องมือใด ๆ ย้าย การปรับสมดุล และการคัดเลือก ที่มุ่งเน้นอาจจำเป็นแม้ว่า ขอบเขตห้องจะไม่เปลี่ยนแปลง

คณะกรรมการภายใต้เงื่อนไขผู้แทน

การทดสอบควรขยายเกินกว่า จำนวนอนุภาคห้องว่า ง ความดันห้องความเสถียร และความชื้นการกู้คืนการควบคุม ESD และการตรวจสอบเอเอ็มซี ที่เกี่ยวข้อง การสร้างแผนภูมิการไหลของอากาศรอบเครื่องมือ ที่สำคัญสามารถแสดงให้เห็นว่า อากาศบริสุทธิ์ถึงจุด ที่ใช้งานตาม ที่ตั้งใจไว้ หรือไม่

การปรับ แต่งค่าพื้นฐาน และเครื่องมือเพื่อให้การเบี่ยงเบนในอนาคตสามารถเปรียบเทียบกับสถานะ ที่รู้จักกัน ข้อมูลแนวโน้มควรสนับสนุนการตรวจสอบกระบวนการ และการบำรุงรักษาด้านการป้องกันมากกว่า ที่มีอยู่สำหรับการนำเสนอการตรวจสอบเท่านั้น

คำถาม ที่พบบ่อย

ทำความสะอาดห้องเซมิคอนดักเตอร์ทั้งหมดต้องการชั้นเรียน ISO เดียวกัน หรือไม่?

ไม่เลยค่ะ การจำแนกประเภทควรสะท้อนความไวของกระบวนการ เขตวิกฤตในท้องถิ่นอาจต้องการการควบคุม ที่เข้มงวดมากกว่า การสนับสนุน หรือพื้น ที่ให้บริการ

ตัวกรอง HEPA สามารถกำจัดการปนเปื้อนในอากาศได้ หรือไม่?

ตัวกรอง HEPA ถูกออกแบบมาสำหรับอนุภาค สารปนเปื้อนระดับโมเลกุลโดยทั่วไปต้องการการควบคุมแหล่ง ที่มาวัสดุ ที่เข้ากันได้ และการกรองก๊าซ ที่เหมาะสม

ทำไมผนังโมดูลาร์มีค่าในสิ่งอำนวยความสะดวกเซมิคอนดักเตอร์

พวกเขาสามารถลดการรื้อถอน และหยุดเวลาเมื่อระบบได้รับการออกแบบมาสำหรับการถอด และปิดผนึกใหม่

จะประกอบอากาศใหม่เมื่อไหร่

ทบทวนใหม่หลังจากเครื่องมือ ที่สำคัญไอเสียเพดานอากาศกลับคืนมา หรือการเปลี่ยนรูปแบบห้องพัก และในช่วงเวลา ที่กำหนดโดยอำนวยความสะดวก#39 โปรแกรมคุณสมบัติ

ระบุประสิทธิภาพ และการเปลี่ยนแปลงในอนาคต

รูปแบบเครื่องมือความร้อน และไอเสียการจัดประเภทเป้าหมายเอเอ็มซี และความต้องการ ESD โมดูลเพดานการบำรุงรักษา และสถานการณ์การขยาย สนับสนุนทีมงานโครงการทั่วโลก B 2 B ที่มีคอกแบบแยกส่วนเพดานประตูอุปกรณ์ และความสามารถในการผลิตโครงการอิเล็กทรอนิกส์ และเซมิคอนดักเตอร์